Reinigungsplasma (Plasma reinigung) und dessen Anwendung

Reinigungsplasma wird auf vielen Materialien zur Oberflächenreinigung verwendet und um sie zur weiteren Bearbeitung wie Bemalen, Beschichten oder der Verkapselung zu präparieren.

Die Reinigung kann mit Sauerstoff (Luft), Argon und allen anderen Elementen, die die Anforderungen der Oberfläche erfüllen, erfolgen.

Die Plasmareinigung wird normalerweise vorgenommen, um Oberflächen zur Bearbeitung wie zum Gießen, Drucken, Beschichten und Bemalen zu präparieren.  

Zu den allergängigsten Verwendungen des Plasma reinigung zählt u. a. das Reinigen von Messapparaten, Substraten in einem aus organischen Schadstoffen bestehendem Hintergrund, die zu Autofluoreszenz führen, und von Bondpads.

Das Reinigungsplasma ist auch für das Entfernen von von außen herangetragenen Schadstoffen wie mineralische und organische Bearbeitungsrückstände verwendbar. Es ist auch hilfreich bei der Reinigung von Teilen vor der Beschichtung und bei der anschließenden Verkapselung zusammen mit der ultrafeinen Säuberung von UHV-Vorrichtungen.

Die Vorteile der Plasma reinigung

Einer der vielen Vorteile der Plasmareinigung besteht darin, dass es benutzerfreundlich ist und über eine trockene und umweltfreundliche Technik verfügt, da beispielsweise kein Trichloräthylen verwendet wird. Außerdem sind die Betriebskosten niedrig, und die Reinigung ist von bester Qualität. Das Verfahren verbessert auch die Haftungseigenschaften.   

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Durch die Plasma reinigung können alle auf einer bestimmten Oberfläche vorhandenen organischen Verunreinigungen einfach durch physikalische Ablation entfernt werden, wobei Argonplasma oder eine chemische, durch Sauerstoff (Luft) verursachte Reaktion eingesetzt wird. Das Verfahren kann sehr hilfreich bei der Reinigung von Oberflächen sein, die von der Reinigung mit Lösungsmitteln hinsichtlich der Oberflächenspannung beeinträchtigt werden. Diese Oberflächen werden mit Hilfe von Mikrokanälen oder mikroskaliger Porosität gereinigt.

Ein weiterer Vorteil des Auftragens des Reinigungsplasmas auf Materialoberflächen ist, dass so keine chemischen Lösungsmittel erforderlich sind, weshalb keine Lösungsmittelabfälle gelagert und entsorgt werden müssen.

Im Gegensatz zu den herkömmlichen Methoden zur Oberflächenbehandlung ist der Vorgang nicht hart zum Material, weshalb Sie eine Oberfläche reinigen können ohne einen Verlust vieler der wichtigen Eigenschaften des Materials zu erleiden, wie es bei der herkömmlichen Oberflächenreinigung der Fall ist. Dieses Verfahren ist auch hilfreich bei der Bearbeitung von sehr vielen komplexen Oberflächen, zu denen unter anderem Glasfaserleiter, Objektträger, Metalloberflächen (z. B. Gold), Halbleiter und Oxide zählen.  

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